Para acceder a los documentos con el texto completo, por favor, siga el siguiente enlace: http://hdl.handle.net/2117/119
Título: | Modelling the electrostatic actuation of MEMS: state of the art 2005. |
---|---|
Autor/a: | Costa Castelló, Ramon; Shkel, A.M.; Fargas Marquès, A. |
Abstract: | |
Materia(s): | -Àrees temàtiques de la UPC::Informàtica::Automàtica i control |
Derechos: | Attribution-NonCommercial-NoDerivs 2.5 Spain
http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/2.5/es/ |
Tipo de documento: | Informe |
Editor: | Universitat Politècnica de Catalunya. Institut d'Organització i Control de Sistemes Industrials |
Compartir: |