To access the full text documents, please follow this link: http://hdl.handle.net/2117/26811

Title:	Piezo-MUMPS batch #1. First Report.
Author:	Pons Nin, Joan; Gorreta Mariné, Sergio; Domínguez Pumar, Manuel; Blokhina, Elena; O'Connell, D.
Other authors:	Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica; Universitat Politècnica de Catalunya. MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies
Abstract:	Informe confidencial encarregat per l'empresa nord-americana MEMSCAP, dedicada a la fabricació i comercialització de dispositius micro i nano electro-mecànics MEMS-NEMS. Aquesta empresa ha sel.leccionat diversos usuaris avançats per tal que provin el batch inaugural d'una nova tecnologia de MEMS amb materials piezoelèctrics, anomenada PizeoMUMPS, que està previst comercialitzar en el darrer trimestre de 2013. Aquest informe confidencial avalúa les prestacions d'una sèrie de dispositius dissenyats per membres de la UPC i del University College de Dublin i fets amb aquesta tecnologia.
Subject(s):	-Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica::Components electrònics -Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica::Microelectrònica::Circuits integrats -Nanoelectronics -Nanoelectrònica
Rights:
Document type:	Article - Submitted version Report
Share:

Show full item record