Se ha utilizado la evaporación secuencial de Cu, Y2O3 y BaF2 para la obtención de láminas delgadas superconductoras de YBa-CuO sobre substratos de Si monocristalino con orientación [100], recubiertos con una lámina barrera de Zr02. Se han estudiado los efectos de la variación de los espesores relativos de las láminas constituyentes y del espesor total de la lámina resultante. Las láminas se han caracterizado mediante medidas de la variación de la resistencia con la temperatura, microscopía electrónoca de barrido, difractometría de rayos X, microson-da electrónica y espectometría de masas de iones secundarios. Las láminas presentan un ligero carácter semiconductor en el estado normal, con temperaturas de inicio de la transición su-perconductora alrededor de 90 K, y resistencia nula, en el mejor de los casos, a 45 K.