To access the full text documents, please follow this link: http://hdl.handle.net/2117/99524

Title:	Characterization of dielectric charging in MEMS using Diffusive Representation
Author:	Atienza García, María Teresa; Gorreta Mariné, Sergio; Pons Nin, Joan; Domínguez Pumar, Manuel
Other authors:	Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica; Universitat Politècnica de Catalunya. Departament de Teoria del Senyal i Comunicacions; Universitat Politècnica de Catalunya. MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies
Subject(s):	-Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria elèctrica -Electric charge and distribution -Càrrega i distribució elèctriques -Dielèctrics
Rights:
Document type:	Article - Submitted version Article
Published by:	Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
Share:

Show full item record