Millora de la resposta electro-mecànica per a ressonadors d'alta freqüència basats en MEMS

All of RECERCAT

Use this identifier to quote or link this document: http://hdl.handle.net/2072/9121

Title:	Millora de la resposta electro-mecànica per a ressonadors d'alta freqüència basats en MEMS
Author:	Teva Meroño, Jordi
Other authors:	Agència de Gestió d'Ajuts Universitaris i de Recerca; Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica
Resum:	Report for the scientific sojourn at the Department of Micro and Nanotechnology of the Technical University of Denmark from August until December 2006. The research was focused on designing and carrying out a technological process for fabricating high frequency resonators with dielectric solid transducer gaps.
Resum:	Projecte de recerca elaborat a partir d’una estada al Department of Micro and Nanotechnology de la Technical University of Denmark entre agost i desembre del 2006. La finalitat ha estat la fabricació de dispositius MEMS resonants, utilitzant materials dialèctics per a la transducciò capacitiva.
Publication date:	2008-07-18
Subject (UDC):	621.3 - Enginyeria elèctrica. Electrotècnia. Telecomunicacions
Subject(s):	Ressonadors Sistemes microelectromecànics
Rights:	Aquest document està subjecte a una llicència d'ús de Creative Commons, amb la qual es permet copiar, distribuir i comunicar públicament l'obra sempre que se'n citin l'autor original i l’Agència i no se'n faci cap ús comercial ni obra derivada, tal com queda estipulat en la llicència d'ús (http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/2.5/es/)
Pages:	37 p.
Document type:	Report
Collection:	Els ajuts de l'AGAUR;2006BE00523
Share:

Files	Size	Format
2006 BE 00523 (memòria).pdf	4.621 MB	PDF