To access the full text documents, please follow this link: http://hdl.handle.net/2117/20390
Title: | Yield estimation model for lithography hotspot distortions |
---|---|
Author: | Gómez Fernández, Sergio; Moll Echeto, Francisco de Borja |
Other authors: | Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica; Universitat Politècnica de Catalunya. HIPICS - Grup de Circuits i Sistemes Integrats d'Altes Prestacions |
Abstract: | |
Subject(s): | -Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica -Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria dels materials -Hot spot -Manufacturing yield -Yield estimation -Yield loss -Yield modeling -Litografia per feix d'electrons -Litografia |
Rights: | Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 Spain
http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/es/ |
Document type: | Article - Published version Article |
Published by: | Institution of Electrical Engineers |
Share: |