Título: | Evaluating the compressive stress generated during fabrication of Si doubly clamped nanobeams with AFM |
---|---|
Autor/a: | Lorenzoni, Matteo; Llobet Sixto, Jordi; Gramazio, Federico; Sansa Perna, Marc; Fraxedas, Jordi; Pérez Murano, Francesc |
Abstract: | |
Materia(s): | -Analysis of beams -Buckling behaviors -Curved shapes -Force spectroscopy -Mechanical bending -Peak-force tappings -Rectangular section -Residual compressive stress |
Derechos: | open access
Aquest document està subjecte a una llicència d'ús Creative Commons. Es permet la reproducció total o parcial, la distribució, la comunicació pública de l'obra i la creació d'obres derivades, fins i tot amb finalitats comercials, sempre i quan es reconegui l'autoria de l'obra original. https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
Tipo de documento: | Article |
Editor: | |
Compartir: | |
Uri: | https://ddd.uab.cat/record/212909 |