Evaluating the compressive stress generated during fabrication of Si doubly clamped nanobeams with AFM
Lorenzoni, Matteo; Llobet Sixto, Jordi; Gramazio, Federico; Sansa Perna, Marc; Fraxedas, Jordi; Pérez Murano, Francesc
-Analysis of beams
-Buckling behaviors
-Curved shapes
-Force spectroscopy
-Mechanical bending
-Peak-force tappings
-Rectangular section
-Residual compressive stress
open access
Aquest document està subjecte a una llicència d'ús Creative Commons. Es permet la reproducció total o parcial, la distribució, la comunicació pública de l'obra i la creació d'obres derivades, fins i tot amb finalitats comercials, sempre i quan es reconegui l'autoria de l'obra original.
https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
Article
         
https://ddd.uab.cat/record/212909

Mostrar el registro completo del ítem

Documentos relacionados

Otros documentos del mismo autor/a

Gramazio, Federico; Lorenzoni, Matteo; Pérez Murano, Francesc; Evangelio Araujo, Laura; Fraxedas, Jordi
Llobet Sixto, Jordi; Sansa Perna, Marc; Gerbolés, M.; Mestres i Andreu, Narcís; Arbiol i Cobos, Jordi; Borrisé, Xavier; Pérez Murano, Francesc
Gramazio, Federico; Lorenzoni, Matteo; Pérez-Murano, Francesc; Rull Trinidad, Enrique; Staufer, Urs; Fraxedas, Jordi
Gramazio, Federico; Lorenzoni, Matteo; Pérez-Murano, Francesc; Rull Trinidad, Enrique; Staufer, Urs; Fraxedas, Jordi
Evangelio Araujo, Laura; Gramazio, Federico; Lorenzoni, Matteo; Gorgoi, Michaela; Espinosa, Francisco Miguel; García, Ricardo; Pérez-Murano, Francesc; Fraxedas, Jordi