Para acceder a los documentos con el texto completo, por favor, siga el siguiente enlace: http://hdl.handle.net/2117/24849
dc.contributor | Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica |
---|---|
dc.contributor | Universitat Politècnica de Catalunya. MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies |
dc.contributor.author | Gorreta Mariné, Sergio |
dc.contributor.author | Pons Nin, Joan |
dc.contributor.author | Blokhina, Elena |
dc.contributor.author | Feely, Orla |
dc.contributor.author | Domínguez Pumar, Manuel |
dc.date | 2014-08-01 |
dc.identifier.citation | Gorreta, S. [et al.]. Delta-sigma control of dielectric charge for contactless capacitive MEMS. "Journal of microelectromechanical systems", 01 Agost 2014, vol. 23, núm. 4, p. 829-841. |
dc.identifier.citation | 1057-7157 |
dc.identifier.citation | 10.1109/JMEMS.2013.2295842 |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2117/24849 |
dc.language.iso | eng |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess |
dc.subject | Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica |
dc.subject | MEMS control |
dc.subject | dielectric charging control |
dc.subject | MEMS reliability |
dc.subject | SWITCHES |
dc.subject | DEPENDENCE |
dc.subject | DEVICES |
dc.subject | Aïlladors elèctrics |
dc.subject | Dielèctrics |
dc.title | Delta-sigma control of dielectric charge for contactless capacitive MEMS |
dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion |
dc.type | info:eu-repo/semantics/article |
dc.description.abstract |