1. Home
  2. Universitat Politècnica de Catalunya
  3. E-prints
  4. View Item

Surface passivation and optical characterization of Al2O3/a-SiCx stacks on c-Si substrates

Author

López Martí, Gema

Ortega Villasclaras, Pablo Rafael

Voz Sánchez, Cristóbal

Martín García, Isidro

Colina Brito, Mónica Alejandra

Morales Vilches, Ana Belén

Orpella García, Alberto

Alcubilla González, Ramón

Other authors

Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica

Universitat Politècnica de Catalunya. MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies

Publication date

2013

Share

Abstract

Postprint (published version)

Document Type

Other

Language

English

Subjects and keywords

Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica::Microelectrònica; Nanoelectronics; Nanoelectrònica

Recommended citation

This citation was generated automatically.

Export

DIDL MARC MARC_CCUC METS OAI_DC ORE QDC RDF

Rights

Restricted access - publisher's policy

This item appears in the following Collection(s)

E-prints [73021]