Surface passivation and optical characterization of Al2O3/a-SiCx stacks on c-Si substrates

Autor/a

López Martí, Gema

Ortega Villasclaras, Pablo Rafael

Voz Sánchez, Cristóbal

Martín García, Isidro

Colina Brito, Mónica Alejandra

Morales Vilches, Ana Belén

Orpella García, Alberto

Alcubilla González, Ramón

Altres autors/es

Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica

Universitat Politècnica de Catalunya. MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies

Data de publicació

2013

Resum

Postprint (published version)

Tipus de document

Other

Llengua

Anglès

Matèries i paraules clau

Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica::Microelectrònica; Nanoelectronics; Nanoelectrònica

Citació recomanada

Aquesta citació s'ha generat automàticament.

Exportar

DIDL MARC MARC_CCUC METS OAI_DC ORE QDC RDF

Drets

Restricted access - publisher's policy

Aquest element apareix en la col·lecció o col·leccions següent(s)

E-prints [73026]